SEMICONDUCTOR-GRADE MICROFLUIDIC MANUFACTURING

Engineering Breath
at Micron Scale.

迈康瑞专注于硅基与玻璃基微流控芯片及复杂药物递送系统研发制造,基于半导体级 MEMS 工艺,构建从流体仿真、DRIE 深蚀刻、阳极键合到 APSD 性能测试的一体化精密智造平台。

Microfluidic Wafer
01

Precision Manufacturing

以半导体级工艺标准实现复杂微尺度流道控制,建立从设计到量产的全链路精密制造体系。

02

Drug Delivery Platform

面向复杂药物递送与吸入式装置,提供高一致性、高稳定性的微流控核心芯片解决方案。

03

Micron-Level Control

从流体行为到微孔加工,以微米级精度控制每一次雾化、每一个通道以及每一片芯片。

PRECISION CONTROL
±200纳米

微尺度流道结构极限加工控制能力

From CFD Simulation to Wafer-Level Manufacturing.

迈康瑞构建覆盖微流控结构设计、MEMS 制造、流体校准与性能验证的完整技术闭环,以 system 级能力支撑复杂药械组合产品开发。

STEP 01
CFD Flow Simulation
基于 Weber 数与多相流模型进行雾化路径与液滴破碎行为优化。
STEP 02
MEMS Lithography
采用高精度光刻系统完成微尺度结构图形转移与多层结构控制。
STEP 03
DRIE Deep Etching
深反应离子蚀刻实现高深宽比微流道加工与稳定出口一致性控制。
STEP 04
Wafer Bonding
通过高可靠性玻璃键合工艺保障流道密封性与长期稳定运行。
STEP 05
APSD Performance Testing
配备 APSD 与激光粒径分析平台,实现递送效率与粒径闭环验证。
90%
Wafer-Level Yield
晶圆级量产良率控制能力
<5μm
Fine Particle Fraction
高肺部沉积粒径控制范围
20 Days
Prototype Cycle
从流体仿真到快速打样交付

Advanced Delivery Devices & Microfluidic Solutions.

Medical Delivery
DRUG DELIVERY SYSTEM

Medical Soft Mist Core Chip

面向 COPD 与哮喘类吸入制剂,提供高一致性软雾输出及高肺部沉积率的核心芯片解决方案。

Microfluidic Chip
MICROFLUIDIC FABRICATION

Wafer-Level MEMS Customization

提供从结构设计、MEMS 加工、快速打样到规模化量产的一站式微流控芯片开发服务。

Latest Updates & Technological Breakthroughs.

2026.04

迈康瑞微流控高性能雾化芯片研发取得关键进展

迈康瑞(深圳)科技有限公司在高端吸入式核心雾化芯片领域取得阶段性成果,通过半导体级单通道振荡与精密结构设计,进一步优化雾化一致性,有效提升肺部沉积效率并打破国际垄断壁垒。

2026.02

精密微纳加工百级超净实验室全面投入运行

公司旗下高规格微纳加工平台及检测分析实验室正式落成投入使用。标志着公司在硅基及玻璃基微流控流道控制、高深宽比 DRIE 深蚀刻加工精度方面迈入全新台阶。

Cleanroom

Building the Core Infrastructure for Precision Atomization.

迈康瑞(深圳)科技有限公司专注于硅基与玻璃基微流控核心芯片及复杂药物递送系统研发制造,持续突破高精密软雾递送领域关键技术壁垒。

公司围绕 MEMS 微纳加工、复杂流体控制、精密雾化结构及药械组合平台建立自主技术体系,致力于推动高端吸入式装置核心芯片国产化。

Class 100

百级超净微纳加工环境

MEMS

半导体级微纳加工体系

APSD

全流程粒径性能测试

IPD

药械组合联合开发体系

Precision Atomization Begins at Silicon Level.

We look forward to collaborating with global pharmaceutical companies, research institutes, and advanced manufacturing partners to drive the next generation of innovation in microfluidic core chips.